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制造执行系统-Cynosure
产品简介
Cynosure是结合现代技术所设计的新一代MES（制造执行系统）。它在半导体和FPD制造业有良好的实践经验，依据这些产业的特性，提供最多且有用的功能与想法。它的设计也满足关键任务生产环境、完全自动化、要求高的交易性能，以及几乎100%的稳定性。Cynosure在前述行业的Top 1客户端已经被应用，系统卓越的设计赢得了客户的满意和赞赏。
特色及优点
主要支持IC及FPD制造要求
●弹性的流程管控能力，支持多元化的代工制造的需求。
●多阶层的WIP追踪能力
●支持一个Carrier可用时装载多批Lot的特色。
●非生产晶圆/玻璃（NPW）管理功能。
●提供Future-Process管理，控制工程产品
●提供生产资料Feedback机制，以防止灾害扩大；以及生产资料Forward给下一制程的机制
●依据设备类型（in-line，standalone，Sub-Equipment.），提供各自的管理模式
●提供On-line SPC功能。
●提供治具和耗材管理功能。
●嵌入报警服务（Alarm）功能。
●显示多国语言，易于转换成产业或FAB的最适用语。
●物件化（Object）的操作基础。先选择物件，再选择此物件的相关功能即可。
●类似Windows操作模式以及友善的使用者界面。广泛使用Tab以便在同一功能上显示更多的信息，即使切换Tab，也能保留各Tab的原始数据。
●综合产业界丰富的导入经验，提供各业界所需的广泛功能。
系统架构
功能介绍
●弹性的流程管理
‧支持2阶层、3阶层的WIP流程控制
‧支持参数（parameter）的特色，使用者可以很容易地控制各种WIP流程需求
‧支持If-Then-Else流程控制能力
‧支持各阶流程的覆盖（Overwrite）机制
●针对IC和面板产业的需求所设计的WIP过账
‧Component（例如：Wafer，Glass，Panel，…）层级的WIP过账设计
‧容易追溯WIP的祖谱和历史信息
‧支持以载具的槽位（Slot）为基础的过账能力
‧支持Pilot和测试批相关功能。
‧依据ID命名，比例或良率计算抽检率
‧提供重工（Rework）流程和次数管控。
●派工管控系统（DCS）
‧支持全自动生产需求
‧提供List-Filter-Sort 3层规则构架，容易设置各种派工规则。
‧每个设备可以指定特殊的DCS规则
‧支持设备的供货Stocker和返回Stocker
‧基于设备的能力，可支持点对点传送，以节省搬运时间。
●设备（EQP）管理
‧支持Line-EQP-Chamber 3阶层的设备规划
‧设备状态遵循SEMI标准
‧支持设备限制（EQP Constrain）的功能
‧支持制程能力（Capability）管控的概念
●耗材（Material）管理
‧支持材料消耗计划
‧追踪每一个生产站点的材料耗用情况
‧管控材料的生命周期
‧管控材料的Queue-Time
●Recipe管理
‧支持逻辑Recipe与实际Recipe的管控
‧Recipe参数以及内容的管控
‧Recipe群组管理的需求
‧支持Recipe在工程试货的应用
●数据测量收集以及在线SPC
‧支持各种数据测量收集的需求
‧即时将数据提供给SPC控制系统，提供OOS/ OOC/ RV控制能力
‧提供调整SPC图表，可忽略离峰的图点，也可以对某个点注记信息。
‧完全支持数据测量收集-> SPC控制->警报服务->控制生产周期
●治具（Tooling）管理
‧支持制程能力（Capability）管控的概念
‧提供治具群组（Group）和治具集合（Set）的管理能力
‧管控治具的位置、状态和使用情况追踪
‧可针对不同的检验时点（如：新购入的光罩…），提供不同的检验项目
●分类机（Sorter）管理
‧支持手动和自动分类的特色
●载具（Carrier）管理
‧管理载具的生命周期
‧载具的使用限制的管控
●警报（Alarm）管理
‧收集和处理各种警示信息，以及追踪纪录后续处理情形
‧提供电子邮件与短信等通知功能